Referenzprojekte
Die langjährige Erfahrung in der Entwicklung und Konstruktion von
Anlagen und Maschinen im speziellen im Bereich der Vakuum/Dünnschichttechnologie
spiegeln sich in einer Vielzahl von Projekten wieder.
Deren Spektrum reicht vom Bau von Handlingssystemen über Anlagen zur Herstellung von
Halbleiterbauelementen bis hin zu Abgas-Nachbehandlungsanlagen.

Entwicklung und Konstruktion einer PVD Anlage für den Verschleißschutz von Druckteilen und Werkzeugen

Komponentenentwicklung für eine PECVD Anlage zur Herstellung von Solarzellen

Entwicklung und Konstruktion eines Clustertools für 200 und 300 mm Wafer